電子類(lèi)醫療
當前位置:首頁(yè) > 經(jīng)典案例 > 電子類(lèi)醫療無(wú)油微型真空泵應用特點(diǎn)
微型真空泵系統集成化,不使用電動(dòng)機驅動(dòng),增加了電子控制系統讓整個(gè)真空泵的控制完全擺脫了人工操作實(shí)現了液體傳輸的精準,真正意義上實(shí)現了微型化和智能化產(chǎn)品,所以又被稱(chēng)為電子氣泵,微型真空泵。還被稱(chēng)為,微型負壓泵, 微型真空泵, 微型氣體循環(huán)泵,微型氣泵,微型氣體采樣泵,微型打氣泵,微型抽氣泵,微型抽氣打氣兩用泵等。
電子半導體行業(yè)中的電子加速、光電器件、電子材料、射線(xiàn)管、晶振、繼電器、激光、離子注入設備、離子刻蝕機、化學(xué)氣相沉積設備、物理氣相沉積設備、分子束外延設備、集成電路封裝、等其他半導體應用設備。均在蒸發(fā),濺射,PECVD,真空干法刻蝕,真空吸附,測試設備,機械手,自動(dòng)化真空清掃等等鍵合工序里所需用的真空為(中高真空);清掃真空(粗真空);工藝真空(粗真空)。部份還有要求真空泵向被抽空間內的返流為零,以保護工件免受污染。
電子半導體行業(yè)中的電子加速、光電器件、電子材料、射線(xiàn)管、晶振、繼電器、激光、離子注入設備、離子刻蝕機、化學(xué)氣相沉積設備、物理氣相沉積設備、分子束外延設備、集成電路封裝、等其他半導體應用設備。均在蒸發(fā),濺射,PECVD,真空干法刻蝕,真空吸附,測試設備,機械手,自動(dòng)化真空清掃等等鍵合工序里所需用的真空為(中高真空);清掃真空(粗真空);工藝真空(粗真空)。部份還有要求真空泵向被抽空間內的返流為零,以保護工件免受污染。
微型真空泵壽命長(cháng),體積更小,重量更輕,結構更加合理。完全實(shí)現了免維護,而且泵內無(wú)油,不污真空泵染傳輸介質(zhì),比其他泵符合電子半導體行業(yè)要求。
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